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羅茨真空泵,簡稱羅茨泵,是由羅茨鼓風機演變而來的一種無內壓縮的旋轉式變容量真空泵。羅茨泵和油增壓泵是工業上常用的。羅茨空泵具有高效、節能、低噪音、無泄漏、運行穩定的特點。
羅茨泵分類如下:
1.羅茨泵(也稱為true 空泵)
羅茨泵按工作壓力范圍的不同,可分為干式羅茨泵和濕式羅茨泵,以及Zhen 空羅茨泵(機械增壓泵)和高Zhen 空多級羅茨泵。近年來,羅茨泵得到了廣泛的應用。
羅茨泵是一種雙轉子容積式泵。在泵腔內,有兩個同步相對旋轉的對稱轉子,形成泵腔內容積的周期性反復變化,以達到吸、排氣的目的。轉子有兩個、三個和四個葉片。兩個轉子旋轉方向相反,由軸端齒輪驅動同步旋轉。轉子之間沒有接觸,轉子和泵腔壁之間也沒有接觸。轉子之間通常有0.15 ~ 1.0毫米的間隙,泵腔由間隙密封。由于羅茨泵的泵腔內沒有摩擦,轉子高速運轉,一般為1500 ~ 3000 r/min,不需要潤滑油就可以實現更清潔的泵送過程。泵的潤滑部件僅限于軸承、齒輪和動態密封。
圖1羅茨真空泵
羅茨泵具有重量輕、體積小、噪音低、效率高、運行速度快等優點,能抽出含有一定量粉塵或冷凝物的氣體。廣泛應用于冶金、石油、化工、電子、紡織等行業。羅茨泵在100~1Pa真空的抽速較高,彌補了機械泵和蒸汽流泵在該壓力范圍內抽速較低的缺點,故又稱為機械增壓泵。羅茨泵在real 空工程領域應用時,一般與前一級泵串聯組成一個單元,在real 空范圍內作為機械增壓泵使用;兩級或多級羅茨泵機組可獲得高真空;對于干式清潔無油泵送系統,一般采用風冷羅茨泵機組;對于含有水蒸氣的泵送系統,通常采用濕式羅茨泵。
2.機油助力器真空泵
當工作壓力在10 ~ 10-2 Pa范圍內時,油擴散噴射泵具有較高的抽吸速度和較高的最大出口壓力,其抽吸能力是擴散泵的4 ~ 20倍,加熱功率是擴散泵的2 ~ 5倍。油擴散噴射泵的泵速很大,在1 ~ 0.1 Pa。由于油擴散噴射泵的工作壓力范圍在油擴散泵和油封機械泵泵送能力下降的區域,因此可以彌補真空泵在該壓力范圍內泵送速度低和真空泵泵送速度高的缺點。所以這種泵可以作為主泵,經常用在大型油擴散泵和以前的機械泵之間,這樣才能保證真實性。
油擴散噴射泵對惰性氣體的抽吸速度與其他氣體相同,具有結構簡單、無機械轉動部件、操作維護方便、使用壽命長等特點。油擴散噴射泵廣泛應用于真空感應熔煉、真空電弧熔煉、真空干燥、真空壓力浸漬、真空蒸餾等設備中。
圖2羅茨泵壓頭
羅茨true 空泵結合了羅茨鼓風機的優點。經過改進,它在工業中有著顯著的地位。在未來的行業中,羅茨振空泵仍將發揮積極的發展作用。
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