羅茨真空泵工作原理圖(羅茨真空泵的工作原理)

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羅茨真空泵工作原理圖(羅茨真空泵的工作原理)

一、羅茨真空泵容積作用原理

羅茨真空泵是按羅茨鼓風機的原理工作的。工作時，被抽氣體由進氣口進入轉子和泵體之間，這時一個轉子和泵體把氣體與進氣口隔開，被隔開的氣體在轉子連續不斷的旋轉過程中，被送到排氣口。V0 空間是處在密閉狀態的，因此，沒有壓縮與膨脹。但是，當轉子的峰部轉到排氣口邊緣時，由于V0部分的壓力比排氣口處的壓力低，為了使相連體積內壓力均勻，氣體會從排氣口處擴散到V0區域，其擴散方向與轉子旋轉方向相反。逆流冷卻真空泵當轉子再轉動時，把V0處的氣體壓縮到排氣口將其排除。這時轉子的另一面與進氣口相連部分則吸入氣體，當轉子不斷地旋轉時，重復上述抽氣過程不斷地排出流進來的氣體。這種工作過程相當于轉子空間由某一最小值增加到最大值，然后再由最大值減小到最小值。

二、羅茨真空泵分子作用原理

SR-V羅茨真空泵在入口壓力很低情況下工作時，由于轉子轉速很高(1000r/min-3000r/min),轉子表面的線速度接近于分子的熱運動速度，這時碰撞在轉子上的氣體分子被轉子攜帶到壓力較高的排氣口，再被預真空泵排除。

羅茨真空泵是一種雙轉子的容積式真空泵，在泵腔內有兩個形狀對稱的轉子，轉子形狀有兩葉、三葉和四葉的。兩個轉子彼此朝相反方向旋轉，由軸端齒輪驅動同步轉動。轉子彼此無接觸，其間通常有0.15--1mm的間隙，泵腔靠間隙來密封。

羅茨真空泵泵腔內無摩擦，轉子可高速運轉，一般為1500-3000r/min，而且不必用油潤滑，可實現無油清潔的抽氣過程。泵的潤滑部位僅限于軸承和齒輪，以及動密封處。泵沒有往復運動，平穩、轉速高、尺寸小，可獲得大的抽速。

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